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作者：KevinHu，優(yōu)尼康科技有限公司技術(shù)工程師隨著5G大潮的到來，新一代的移動通信產(chǎn)品大多具備高功率，耐高溫等特性，傳統(tǒng)原料中的硅(Si)無法克服在高溫、高壓、高頻中的損耗，逐漸被淘汰，跟不上時代的發(fā)展，無法滿足現(xiàn)代工藝的要求，這就使得碳化硅（SiC）新工藝在半導(dǎo)體行業(yè)嶄露頭角。目前SiC產(chǎn)品格局還處于三足鼎立的狀態(tài)，美國、歐洲、日本占據(jù)產(chǎn)值的八成，其中又以美國獨大，中國雖以即將進入5G時代，但是半導(dǎo)體在SiC方面仍屬于發(fā)展初期，目前在基底、磊晶和零組件方面均有布局。為了...

光學(xué)輪廓儀是一款用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量的檢測儀器。它是以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量的光學(xué)檢測儀器。光學(xué)輪廓儀是以白光干涉為原理制成的一款高精度微觀形貌測量儀器，可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓...

今天主要講下，關(guān)于表面形貌的測量：通?？煞纸佑|式與非接觸式兩種，在各個應(yīng)用領(lǐng)域中，這兩個方法具有互補性，并且各有不同，因此在實際應(yīng)用以及選擇機器的時候，一定要根據(jù)具體情況而定，建議先咨詢相關(guān)的技術(shù)工程師。本期主要說下接觸式表面形貌測量儀器：臺階儀臺階儀根據(jù)使用傳感器的不同，接觸式臺階測量可以分為電感式、壓電式和光電式3種?；竟ぷ髟砣缦拢寒?dāng)臺階儀的觸針在被測的物體表面輕輕滑過時，被接觸的物體表面微小的峰谷就會讓觸針在進行滑行的同時也做一些上下運動。因此表面輪廓的情況在一定程...

光學(xué)膜厚儀（SpectraThickseries）的特點是非接觸,非破壞方式測量，無需樣品的前處理，軟件支持Windows操作系統(tǒng)等。Filmetrics的光學(xué)膜厚儀使用的是白光干涉的原理，從而對樣品表面的膜層進行測量，基本上所有光滑的、半透明的或者地吸收洗漱的薄膜都可以進行測量。不管是打算測量薄膜厚度，還是光學(xué)常數(shù)，或者是打算知道材料的反射率和透過率，優(yōu)尼康科技有限公司提供的儀器都可以滿足你的需求，通過簡單安裝，連接電腦，就可以很快測量出結(jié)果。這種產(chǎn)品主要應(yīng)用在，半導(dǎo)體行業(yè)...

在企業(yè)、廠商生產(chǎn)過程中，使用薄膜厚度測量儀（膜厚儀）都應(yīng)該制定完善的操作規(guī)范制度，這樣才好幫助工作人員更好的進行使用，并測量結(jié)果的性?，F(xiàn)階段，隨著在我們優(yōu)尼康購買膜厚儀的廠家越來越多，應(yīng)用的場景和環(huán)境越來越廣泛，在使用過程中需要注意的一些基本事項，還有操作細節(jié)，需要大家高度關(guān)注。下面來簡單看下膜厚儀在操作中需要注意的細節(jié)（僅供參考，具體問題還是建議咨詢我們工程師）一、在當(dāng)下，這類薄膜厚度檢測設(shè)備在很多領(lǐng)域當(dāng)中都發(fā)揮了十分關(guān)鍵的作用，比如工廠、生產(chǎn)加工、半導(dǎo)體行業(yè)等等，大家在檢...

自動光譜橢偏儀光譜范圍覆蓋從深紫外到可見光再到近紅外.深紫外波長非常適合測量超薄薄膜，比如納米厚度薄膜厚度，比如硅晶圓的薄膜厚度，典型值在2nm左右。對于測量許多材料的帶隙，深紫外光譜橢偏儀也非常重要。橢圓偏振技術(shù)是通過研究光束在樣本表面反射后偏振態(tài)變化而獲得表面薄膜厚度等信息的薄膜測量技術(shù)。與反射計或反射光譜技術(shù)不同的是，光譜橢偏儀參數(shù)Psi和Del并非在常見入射角下獲得。通過改變?nèi)肷浣谴笮。色@得許多組數(shù)據(jù)，這樣就非常有助于優(yōu)化橢偏儀測量薄膜或樣本表面的能力，因此變角橢偏...