課程 

KLA Instruments | Webinar課程：快速傅里葉變換：測厚膜時(shí)您的得力助手

※適合新老客戶了解學(xué)習(xí)膜厚儀的使用；加深對產(chǎn)品的理解。

超過8微米的厚膜會(huì)產(chǎn)生很多光干涉條紋。分析這樣復(fù)雜光譜的一個(gè)簡潔方法就是用快速傅里葉變換。FILMeasure 軟件包括一系列高智能方法來簡化光譜分析。這包括FFT窗口功能，波長范圍自動(dòng)優(yōu)化，以及光學(xué)厚度濾波。
我們會(huì)講到光斑尺寸的影響以及設(shè)備的選配。還會(huì)講到多層薄膜的應(yīng)用。

下期預(yù)告：

        時(shí)間：2020年9月17日  上午10點(diǎn) 

敬請期待！（屆時(shí)注意查看推送文章）