淺析橢偏儀的成像技術(shù)原理
2019-10-28
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橢偏儀的成像技術(shù)為超小塊的電影分析和原位橢圓偏振儀測(cè)量，流體環(huán)境橢偏測(cè)量分析，可以實(shí)現(xiàn)結(jié)合各種技術(shù)，例如布儒斯特角鏡、表面等離子體共振、原子力顯微鏡和石英晶體微天平儀器、磅槽、反射光譜法和太赫茲光譜、拉曼光譜和更多的研究人員使用。這些新的功能，擴(kuò)展產(chǎn)品的橢偏法的應(yīng)用領(lǐng)域。橢偏光學(xué)顯微技術(shù)帶來新的研究也構(gòu)成的技術(shù)，例如在非測(cè)量液膜的穩(wěn)定性和顯微成像面上的挑戰(zhàn)等。
橢偏儀應(yīng)用廣泛在線監(jiān)測(cè)薄膜的厚度，對(duì)成品率無疑至關(guān)重要。然而保鮮膜在傳送帶上的速度堪比百米飛人博爾特，檢測(cè)時(shí)間又以秒計(jì)，其難度可想而知。如此艱巨的任務(wù)，橢偏儀將如何完成呢？
在工程師的幫助下，橢偏儀與流水線巧妙地融為一體：
借助的數(shù)據(jù)庫(kù)和算法，橢偏儀每2秒即可進(jìn)行一次的膜厚測(cè)量，可以實(shí)時(shí)跟蹤噴涂量對(duì)膜厚的影響：
橢偏儀還可以實(shí)時(shí)跟蹤石墨烯的沉積過程。
作為半導(dǎo)體科研事業(yè)的兩大主角：光電器件與光伏電池的關(guān)系自是不一般。上節(jié)課說過，橢偏儀如今已是光電器件領(lǐng)域的小紅人；那么接下來它與光伏電池的合作自然順理成章。
今天我們就來嘮嘮橢偏儀與光伏電池間的那點(diǎn)事兒。
太陽能硅電池表面層肩負(fù)導(dǎo)電、增透兩大關(guān)鍵任務(wù)，直接影響硅電池基本性能。通過提供硅電池表面層的結(jié)構(gòu)、光學(xué)性質(zhì)和電導(dǎo)率等信息，橢偏儀成為硅電池工藝優(yōu)化的堅(jiān)強(qiáng)后盾。
首先橢偏儀可以直接獲取漸變層的厚度以及表面粗糙度信息，如粗糙層532埃、SnO26582埃、SiCxOy256埃。
與此同時(shí)橢偏儀可以獲取漸變層SnO2頂部和底部的光學(xué)性質(zhì)：直觀表示出SnO2頂部和底部折射率及吸光系數(shù)隨波長(zhǎng)變化發(fā)生的改變：利用這組數(shù)據(jù)，我們可以進(jìn)一步解析出表面層的減反射性質(zhì)、載子濃度和電導(dǎo)率等等信息。
